止回閥也為單向閥。停泵的瞬間，因為真空管路的真空高于泵腔，氣體會從排氣口進入泵腔，將水壓到真空管路，止回閥作用就是防止水進入管路。水環(huán)式真空泵加裝止回閥，主要是起保護作用:
1、保護系統(tǒng)，故障停泵的瞬間，真空泵入口和系統(tǒng)連接處是真空狀態(tài)，泵的出口一般與大氣相通，壓力會將水壓入系統(tǒng)破壞系統(tǒng)真空。為保護系統(tǒng)通常會在泵的入口和系統(tǒng)連接處加裝止回閥。
2、保護真空泵本身，氣體倒灌會沖擊葉輪，使泵反向旋轉(zhuǎn)，為保護泵體及其他設(shè)備，一般在泵出口處加裝止回閥。

現(xiàn)在越來越多的機組將止回閥安裝到出口，可起到保護泵和系統(tǒng)的作用。如系統(tǒng)要求嚴格，也有加裝兩個止回閥的。止回閥起到一個止回的作用。由于在真空泵在關(guān)閉了之后，被抽容器處于一個真空的狀態(tài)，而真空泵泵腔跟周圍環(huán)境的壓力一樣大，由于壓力差的關(guān)系，在我們關(guān)閉真空泵的時候，真空泵的空氣會被倒回去被抽容器，倘若我們在管道處安裝止回閥，在關(guān)閉真空泵之前關(guān)閉這個止回閥的話，泵腔的空氣就不會倒回到被抽容器了。停泵的瞬間，排氣口壓力大于進氣口壓力，為了防止水環(huán)泵內(nèi)的水被壓回真空系統(tǒng)，所以在進氣口加止回閥。也叫逆止閥或單向閥。